臭氧發(fā)生器產(chǎn)生臭氧氣體分為三種氣體（氣源），分別是空氣源、富氧源、液氧源。富氧源和液氧源也可以成為氧氣源。

空氣源臭氧發(fā)生器系統(tǒng)，是通過(guò)空壓機(jī)將空氣壓縮到一定壓力（常規(guī)壓力0.7-0.8Mpa），經(jīng)過(guò)冷干機(jī)、吸附式干燥機(jī)、高效油水分離器、三級(jí)精密過(guò)濾除油除水除塵處理之后進(jìn)入儲(chǔ)氣罐，最后進(jìn)過(guò)進(jìn)氣壓力調(diào)整流入臭氧放電室。

富氧源臭氧發(fā)生器系統(tǒng)，是通過(guò)空壓機(jī)將空氣壓縮到一定壓力（常規(guī)壓力0.7-0.8Mpa），經(jīng)過(guò)冷干機(jī)、吸附式制氧機(jī)、高效油水分離器、活性炭過(guò)濾器、三級(jí)過(guò)濾除油除水除塵處理之后進(jìn)入儲(chǔ)氣罐，最后進(jìn)過(guò)進(jìn)氣壓力調(diào)整流入臭氧放電室。

液氧源臭氧發(fā)生器系統(tǒng)，是將液氧站里的液態(tài)氧通過(guò)氣化器氣化成臭氧發(fā)生器所需的氣態(tài)氧氣再經(jīng)過(guò)穩(wěn)壓裝置穩(wěn)壓穩(wěn)流之后流入臭氧放電室。